如果真空充氮烤箱出現故障，應該采取以下步驟進行處理：1.檢查設備是否正常通電，檢查電源插頭是否插緊。

2.檢查設備的控制面板是否出現故障，如閃爍、無反應等，若是則需要更換面板。

3.檢查設備內部的加熱管是否正常工作，是否需要更換。

4.檢查設備內部的傳感器是否損壞或松動，需要修理或更換。

5.檢查設備的真空氣路和氮氣路是否正常，是否需要清洗或更換管路。

6.如果以上方法不能解決問題，需要聯系專業的維修人員進行檢修或更換設備。

在處理故障時，需要注意安全，切勿擅自拆卸或修理設備。如有疑問或不清楚操作，應該及時聯系廠家或專業維修人員進行處理。